1. Introduction -- 2. Development of Physics-based Modeling for ULSI Interconnections Failure Mechanisms: Electromigration and Stress Induced Voiding -- 3. Introduction and General Theory of Finite Element Method -- 4. Finite Element Method for Electromigration Study -- 5. Finite Element Method for Stress Induced Voiding -- 6. Finite Element Method for Dielectric Reliability.

Applications of Finite Element Methods for Reliability Studies on ULSI Interconnections proporciona una descripción detallada de la aplicación de métodos de elementos finitos ( FEM ) para el estudio de ULSI fiabilidad de interconexión . En las últimas dos décadas la aplicación de los FEM se ha generalizado y sigue liderando a una mejor comprensión de la fÍsica fiabilidad.Para ayudar a los lectores a hacer frente a la creciente sofisticación de las aplicaciones FEMS ' para interconectar fiabilidad, Aplicaciones de los métodos de elementos finitos para estudios de confiabilidad sobre ULSI interconexiones :a introducir el principio de la FEM ;-review modelización numérica de ULSI fiabilidad de interconexión ;- describir el mecanismo fÍsico de ULSI fiabilidad de interconexión encontrado en la industria electrónica ; y- discutir en detalle el uso de los FEM para entender y mejorar la fiabilidad ULSI interconexión tanto desde el punto de vista fÍsico y práctico, que incorpora el método de Monte Carlo.Una revisión exhaustiva de la metodologÍa de modelado numérico utilizado en el estudio de la fiabilidad de interconexión destaca técnicas útiles y notables que se han desarrollado recientemente. Muchos ejemplos son utilizados en todo el libro para mejorar la comprensión del lector de la metodologÍa y su verificación. También se incluyen los resultados experimentales reales y las micrografÍas de las interconexiones ULSI .Aplicaciones de los métodos de elementos finitos para estudios de confiabilidad sobre ULSI interconexiones es una buena referencia para los investigadores que están trabajando en el modelado de la confiabilidad de interconexión , asÍ como para aquellos que quieren saber más acerca de los FEM para aplicaciones de fiabilidad. Se da a los lectores un conocimiento profundo de las aplicaciones de la FEM a modelar fiabilidad y una apreciación de las fortalezas y debilidades de los diferentes modelos numéricos para la confiabilidad de interconexión.